فهرست مطالب كتاب *
 پيشگفتار *
 فصل 1 - مواد و ساختار در مقياس ميكرو و نانو *
 فصل 2 - فيزيك در مقياس هاي كوچك *
 فصل 3 - ملاحظات طراحي سيستم ها در مقياس ميكروو نانو *
 فصل 4 - ملاحظات طراحي ساختار هاي الاستيك در MEMS/ NEMS *
 فصل 5 - طراحي سيستم هاي حرارتي - الاستيك *
 فصل 6 - طراحي سيستم هاي الكتروستاتيك - الاستيك *
 فصل 7 - طراحي سيستم هاي با محرك مغناطيسي *
 فصل 8 - حسگرهاي فشار *
 فصل 9 - ميكرو حسگرهاي MEMS- IDT *
 فصل 10 - نگاهي مختصر بر ميكروشتاب سنج ها *
 مراجع *